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OP-AI系列氣浮隔振光學(xué)平臺 ? 固有頻率:<1.2~2Hz ? 重復(fù)定位精度:±0.10mm ? 臺面材料:SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼 ? 臺面厚度:100/200/250mm ? 平面度:≤0.05mm/m2 ? 臺面粗糙度:≤0.8μm,局部可達(dá)0.4μm ? 氣浮支架:雙層氣室,3個真空管水平調(diào)節(jié)閥,四或六支撐腿 ? 臺面加支架總高度800mm,總高度可調(diào)范圍:-20~+20
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