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LEI Model2017B,通過汞探針接觸方法,對各類半導(dǎo)體材料的載流子濃度分布進(jìn)行測試,特別適合GaN.SiC等化合物材料。
汞CV測試系統(tǒng),用于對外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測試; MCV-530L可測最大200mm的樣品。
CV-1500,用于測試界面和介電層的科研平臺,基于SDI Corona-Kelvin技術(shù),可以進(jìn)行非接觸C-V/I-V測試。
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