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LEI88 是針對科研類客戶開發(fā)的產(chǎn)品,具備非接觸快速測試方塊電阻和電導(dǎo)率功能。
非接觸Hal和方塊電陽測試系統(tǒng),可對GaAs,InP,InAs,GaN,AIN,Si,SiC等各種半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì)的HEMTs,pHEMTs,HBTs,FETs器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行測試。
SRP 測試系統(tǒng),采用擴(kuò)展電阻率技術(shù)(SRP),對載流子濃度和電阻率隨深度的變化做快速測試。
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